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電子潔凈廠房設(shè)計

半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計施工的5大特點及關(guān)鍵難點
2021-11-18

這個表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好，這個主要還是決定我們的設(shè)計，或者對生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。
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